GlobalFoundries远程等离子体清洁计划助力减排

GlobalFoundries正通过其新加坡工厂的一项突破性举措，向绿色芯片制造迈出一大步。其200毫米晶圆厂的远程等离子体清洁项目，取代了传统的腔室清洁工艺。该传统工艺是公司在晶圆制造中范围一排放（Scope 1 emissions）的最大来源之一，而新项目则采用了一种更环保高效的替代方案。

通过更换反应气体、优化配方和设备，升级后的工艺实现了97%的碳排放减少，每年消除超过46000吨的二氧化碳当量。

通过审慎的分阶段实施，GlobalFoundries成功管控了在敏感的半导体制造流程中引入新技术的固有风险。第一阶段的成功部署，使其能够在该公司新加坡的200毫米晶圆厂内，迅速将后续阶段推广至其他工艺。

GlobalFoundries亚太区制造和新加坡工厂高级副总裁兼总经理陈耀光 (Tan Yew Kong)表示：“我们采取了分阶段、为期多年的实施方法。一个由跨职能利益相关者组成的核心团队在每个阶段都保持步调一致，我们还引入了包括供应链合作伙伴在内的外部专家，以拓宽我们的视野并主动应对潜在挑战。”

这一转型始于配方层面的调整，评估其对维护、产出质量和库存的影响。在进入大批量生产之前，每个阶段都已稳定下来，从而可以在不干扰日常运营的情况下转换使用新气体。

该项目不仅需要技术调整，还涉及整个团队思维方式的转变，鼓励实验和持续学习。团队还挑战了长期以来的固有假设，并鼓励跨职能协作。

陈耀光解释说：“最佳实践不再是采用最成熟的传统方法，而是在于为我们的特定环境找到最佳方法。这种对变革的开放态度和共同的使命感，帮助我们克服了挑战并加速了新方法的应用。”

除了减少排放，远程等离子体清洁项目还带来了运营效益，包括改善腔室卫生和清洁效率，从而减少了维护停机时间并提高了晶圆产量。这些效益提升了整体制造生产力，并证明了可持续性与绩效可以齐头并进。

Giga+ 远程等离子体清洁项目的成功在2025年全国能源效率合作伙伴（Energy Efficiency National Partnership, EENP）奖项中获得认可，GlobalFoundries因其在减少温室气体排放方面的创新方法而荣获最佳实践奖。

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基于远程等离子体清洁项目的成功，GlobalFoundries正在探索新的绿色举措，包括中央减排系统和智能自动化，并沿用同样的协作和渐进式方法。